{"product_id":"e05300-semi-e53-イベントレポート","title":"E05300 - SEMI E53 - イベントレポート","description":"\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'Times New Roman'; FONT-SIZE: 12pt; mso-fareast-language: JA; mso-fareast-font-family: 'Times New Roman'; mso-ansi-language: EN-US; mso-bidi-language: AR-SA\"\u003e \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本スタンダードは，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eGlobal Information and Control Committee\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eで技術的に承認されたもので\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eJapanese Information and Control Committee\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eが直接責任を負うものである。現版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2004\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e4\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e30\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e日に\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eJapanese Regional Standards Committee\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eにて承認された。\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2004\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e6\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月にまず\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003ewww.semi.org\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eで入手可能になり，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2004\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e7\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月発行に至る。初版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e1996\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e12\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月に発行された。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e装置でのプロセスデータへのアクセスは，半導体製造施設で効率的にプロセスモニタリングとコントロールを行う際には非常に重要なことである。このスタンダードでは半導体装置とセルコントローラあるいはレシピサーバーといった工場内のオブジェクト間の通信の必要性について，タイムリーなデータ収集およびレポートという観点から扱っている。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのスタンダードの目的は，装置サプライヤが提供する汎用的なイベントレポートサービスのセットを用意することである。これより高いレベルのアプリケーション領域を扱っている別のスタンダードが本文書全体あるいは一部を参照する場合がある。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eここで定義されている通信サービスにより，スタンダードを基本とした，独立システムの相互運用が可能になる。通信サービスによって，このサービスが存在するという前提に立ったアプリケーションソフトウエアの開発が可能になり，このサービスを提供するソフトウエア製品の開発が可能となる。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのスタンダードは，あらゆる独立型装置，クラスタモジュール，クラスタツール，工場でのオートメーションセルに適用可能である。スタンダード自体は工場でのあらゆるレベルでのイベントレポートと装置コントロール階層について扱っている。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのスタンダードでは有意義な通信とコンピュータ用リソースが必要とされる。そのため，装置内の\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eI\/O\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e分布（例えばセンサバス）のレベル以下には適用されない。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのスタンダードは定期的なデータレポートおよびイベントへの応答レポートをカバーしている。また問合せに対するレポートについても規定している。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのスタンダードはコンセプトおよび挙動からメッセージサービスまでの解決策を提示している。メッセージ送受信プロトコルは定義していない。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eメッセージ送受信サービスには，メッセージが交換されることを明示し，そのメッセージに含まれているデータの定義を示す。メッセージの構造に関する情報，メッセージ内でデータをどのように表現するか，あるいはメッセージをどのように交換するか，ということは含まれていない。この追加情報はメッセージプロトコルに入っている。定義されたサービスは複数のプロトコルに適用することができる。このサービスを特別なプロトコル（例えば\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSECS-II\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e）にマッピングすることについての情報は，付属スタンダードに追記されている。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eサービスは，ユーザとサービスの提供者との間に信頼できる接続が確立されている通信環境を前提としている。通信の確立，維持，開放はこのスタンダードの範囲外である。\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp\u003eSubordinate Document: \u003c\/p\u003e \u003cp\u003eSEMI E53.1-0704 - \u003cspan lang=\"EN\"\u003eイベントレポートスタンダードへの\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSECS-\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Gothic,‚l‚r ƒSƒVƒbƒN\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Gothic,‚l‚r ƒSƒVƒbƒN\"\u003eⅡ\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PGothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PGothic\"\u003e のサポート\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)\u003cbr\u003eSEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of SEMI Equipment (GEM)\u003cbr\u003eSEMI E38 — Cluster Tool Module Communications (CTMC)\u003cbr\u003eSEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services\u003cbr\u003eSEMI E39.1 — SECS-II Protocol for Object Services Standard (OSS)\u003cbr\u003eSEMI E40 — Standard for Processing Management \u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E53-0704 - 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