{"product_id":"e04600-semi-e46-イオン移動度分光計imsを使用したミニエンバイロメントからの有機汚染分析の試験方法","title":"E04600 - SEMI E46 - イオン移動度分光計（IMS）を使用したミニエンバイロメントからの有機汚染分析の試験方法","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e免責事項：\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e　このSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本スタンダードは，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e Metrics Global Technical Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで技術的に承認されている。現版は200\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e７年1\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月18\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e日，global Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eにて発行が承認された。2007\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年2\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月にwww.semi.org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで。初版は1995\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年発行，前版は2001\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年3\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月発行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eNOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本試験方法の目的は，イオン移動度分光計\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e (IMS) \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e（構造材料の試験能力を有している）を用いて，ミニエンバイロメントからの有機汚染を分析する手順を提供することである。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本試験方法は，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSEMI E108\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eの代替方法として考えられている。SEMI E108\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eと本文書との主な相違点は，SEMI E108\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eが測定技術としてガスクロマトグラフィ／質量分析法と熱脱離との組み合わせに基づく試験方法を規定しているのに対し，本スタンダードは，イオン移動度分析法 (IMS) \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eに基づいていることである。SEMI E108\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eによる試験方法と本文書による試験方法の結果は，単位が異なる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eミニエンバイロメントを通過したり，ミニエンバイロメント中に保管されるシリコンウェーハは，構造材料に起因する有機汚染によって影響を受ける。この汚染についての知識は，半導体製造においてミニエンバイロメントの使用を決定する上での助けとなる。\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eIMS\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eは，表面の有機汚染を測定する，容易で，広汎に使用可能で，ぶれが少なくしかも感度の高い方法であることから，この汚染の測定法として選ばれている。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eさらに，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eIMS\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eは，プロセスからの汚染の影響のチェック，化学物質のキャリーオーバー，半導体技術に用いる未来のポリマー素材の特性づけのための可能性を付与する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI E19 — Standard Mechanical Interface (SMIF)\u003cbr\u003e SEMI E108 \u003ci\u003e—\u003c\/i\u003e Test Method for the Assessment of Outgassing Organic Contamination from Minienvironments using Gas Chromatography\/Mass Spectroscopy\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E46-0307 - Inactive","offer_id":40234321051715,"sku":"5882","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_00dbd665-a677-446c-afa3-41636454d749.png?v=1776702307","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/e04600-semi-e46-%e3%82%a4%e3%82%aa%e3%83%b3%e7%a7%bb%e5%8b%95%e5%ba%a6%e5%88%86%e5%85%89%e8%a8%88ims%e3%82%92%e4%bd%bf%e7%94%a8%e3%81%97%e3%81%9f%e3%83%9f%e3%83%8b%e3%82%a8%e3%83%b3%e3%83%90%e3%82%a4%e3%83%ad%e3%83%a1%e3%83%b3%e3%83%88%e3%81%8b%e3%82%89%e3%81%ae%e6%9c%89%e6%a9%9f%e6%b1%9a%e6%9f%93%e5%88%86%e6%9e%90%e3%81%ae%e8%a9%a6%e9%a8%93%e6%96%b9%e6%b3%95","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}