{"product_id":"e03001-semi-e30-1-検査および評価特定装置モデルisem","title":"E03001 - SEMI E30.1 - 検査および評価特定装置モデル（ISEM）","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"TEXT-ALIGN: justify; MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e本\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eスタンダード\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eは，\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003eglobal Information and Control Committee\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで技術的に承認され\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eている。現版は\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e2009\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e1\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e2\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e日，\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003eglobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eにて発行が承認された。\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e2009\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e2\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月に\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003ewww.semi.org\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eで，そして\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e2009\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e3\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月に\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003eCD-ROM\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eで入手可能となる。初版は\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e1998\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e6\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月，前版は\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e2006\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e11\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月に出版された。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp style=\"TEXT-ALIGN: justify; MARGIN: 0in 21pt 0pt\" class=\"Indent\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\" lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\" lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本スタンダードでは検査および評価装置（ISEM\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e）のための特定装置モデル（SEM\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e）を確立している。モデルはSEMI E30\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e基本要求条件および追加性能に加えて実装されることになる装置特性および挙動で構成されている。このスタンダードの目的は自動（半導体製造）工場へのISEM\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e装置の設置を促進することである。本文書はファクトリオートメーションコントローラから見たISEM\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e装置のオペレーションモデルを定義することによって目的を達成している。この定義にはスタンダードホストインタフェースおよび装置のオペレーション挙動（例えばコントロール，状態モデル，データ報告，および報告レベルなど）が書かれている。基板パターンマップ，欠陥分類コード管理，および評価データ管理などの項目では，このスタンダードの範囲内の活動がさらに必要とされている。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp style=\"TEXT-ALIGN: justify; MARGIN: 0in 21pt 0pt\" class=\"Indent\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\" lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"Indent\" style=\"TEXT-ALIGN: justify; MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)\u003cbr\u003eSEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)\u003cbr\u003eSEMI E37 — High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services\u003cbr\u003eSEMI E37.1 — High-Speed SECS Message Services Single-Session Mode (HSMS-SS)\u003cbr\u003eSEMI E58 — Automated Reliability, Availability, and Maintainability Standard (ARAMS): Concepts, Behavior, and Services\u003cbr\u003eSEMI M20 — Specification for Establishing a Wafer Coordinate System\u003cbr\u003eSEMI M21 — Specification for Assigning Addresses to Rectangular Elements in a Cartesian Array \u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E30.1-0309 - Superseded","offer_id":40234341662787,"sku":"8166","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E30.1-1106 - Superseded","offer_id":40234341761091,"sku":"8167","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_S_5f644a80-d70a-435e-9d1e-7a23e0712467.png?v=1776702118","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/e03001-semi-e30-1-%e6%a4%9c%e6%9f%bb%e3%81%8a%e3%82%88%e3%81%b3%e8%a9%95%e4%be%a1%e7%89%b9%e5%ae%9a%e8%a3%85%e7%bd%ae%e3%83%a2%e3%83%87%e3%83%abisem","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}