{"product_id":"e02400-semi-e24-クラスタツール-モジュール-インタフェース-隔離バルブインタロックのスタンダード","title":"E02400 - SEMI E24 - クラスタツール・モジュール・インタフェース： 隔離バルブインタロックのスタンダード","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"TEXT-JUSTIFY: inter-ideograph; MARGIN: 0pt 21pt; TEXT-ALIGN: justify\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e本スタンダードは，\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003eGlobal Physical Interfaces \u0026amp; Carriers Committee\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで技術的に承認され\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eている。現版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e2010\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e4\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e30\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e日、\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003eGlobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eにて発行が承認された。\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e2010\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e6\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月に\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003ewww.semi.org\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eで入手可能となる。初版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e1992\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年発行、前版は、\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e2004\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e7\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月発行。\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003c?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"Indent\" style=\"TEXT-JUSTIFY: inter-ideograph; 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mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e本スタンダードの目的は，材料もしくは装置に，危険な状態もしくは損傷の可能性をもたらすような隔離バルブの開閉を，防止することにある。\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0pt; mso-list: none\"\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003co:p\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0pt; mso-list: none\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003ci\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e影響\u003c\/span\u003e\u003c\/i\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e－\u003cspan lang=\"JA\" style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e本スタンダードは，クラスタツールモジュールサプライヤに，インタロックを備えること，およびインタロックがトリップする状態を定義することを求めている。\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI E21 — Cluster Tool Module Interface: Mechanical Interface and Wafer Transport Standard\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E24-92 (Withdrawn 0710) - Withdrawn","offer_id":40234351919171,"sku":"8154","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_227cc008-a74a-42b9-a576-42ea31fb722a.png?v=1776702128","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/e02400-semi-e24-%e3%82%af%e3%83%a9%e3%82%b9%e3%82%bf%e3%83%84%e3%83%bc%e3%83%ab-%e3%83%a2%e3%82%b8%e3%83%a5%e3%83%bc%e3%83%ab-%e3%82%a4%e3%83%b3%e3%82%bf%e3%83%95%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%82%b9-%e9%9a%94%e9%9b%a2%e3%83%90%e3%83%ab%e3%83%96%e3%82%a4%e3%83%b3%e3%82%bf%e3%83%ad%e3%83%83%e3%82%af%e3%81%ae%e3%82%b9%e3%82%bf%e3%83%b3%e3%83%80%e3%83%bc%e3%83%89","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}