{"product_id":"e01600-semi-e16-マスフローコントローラ漏洩率の決定および記述のガイド","title":"E01600 - SEMI E16 - マスフローコントローラ漏洩率の決定および記述のガイド","description":"\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本スタンダードは，\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003eglobal Gases Committee\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eで技術的に承認されている。現版は\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e2011\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e年\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e5\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e月\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e13\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e日，\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003eglobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eにて発行が承認された。\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e2011\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e年\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e6\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e月に\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003ewww.semiviews.org\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eおよび\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e www.semi.org\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eで入手可能となる。初版は\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e1990\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e年発行。前版は\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e2004\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e年\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e11\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e月発行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのガイドの目的は，マスフローコントローラ\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e(MFCs)\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e漏洩率の記述および測定のための統一された世界的にも通用する方法を確立することである。ガス受渡しシステムの漏洩を完全になくすことは，製品の質および性能を維持するうえで重要なことである。このガイドは，製造者およびユーザの間の混乱と誤解を防止するように考えられている。特に機械的な原因による漏洩率と拡散による漏洩率とを区別している。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eNone.\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E16-0611 - Superseded","offer_id":40234338189379,"sku":"8148","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_7b5f5579-d42b-4cb7-9f34-887c92eab06c.png?v=1776702134","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/e01600-semi-e16-%e3%83%9e%e3%82%b9%e3%83%95%e3%83%ad%e3%83%bc%e3%82%b3%e3%83%b3%e3%83%88%e3%83%ad%e3%83%bc%e3%83%a9%e6%bc%8f%e6%b4%a9%e7%8e%87%e3%81%ae%e6%b1%ba%e5%ae%9a%e3%81%8a%e3%82%88%e3%81%b3%e8%a8%98%e8%bf%b0%e3%81%ae%e3%82%ac%e3%82%a4%e3%83%89","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}