{"product_id":"e01501-semi-e15-1-300-mm装置ロードポートのための仕様","title":"E01501 - SEMI E15.1 - 300 mm装置ロードポートのための仕様","description":"\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本スタンダードは，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003ePhysical Interfaces \u0026amp; Carriers Global Technical Committee\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eで技術的に承認されている。現版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2010\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e8\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e27\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e日，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eglobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eにて発行が承認された。\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2010\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e10\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月に\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e www.semi.org\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eで入手可能となる。初版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e1996\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年に発行，前版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2005\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e3\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月に発行された。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eNOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの仕様が規定しているのは，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e300 mm\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003eウェーハ処理および検査装置のロードポートに関する寸法上の要求事項である。目的としているのは，装置と工場との間の一様な機械的インタフェースを促進すること，自動ウェーハキャリア搬送システムを使いやすくすること，人が積載する装置のための人間工学上の要求事項を満たすこと，である。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本スタンダードは，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e300 mm\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e装置のみを扱っている。\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e200 mm\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e以下のウェーハ用の装置を扱う同様の要求事項は，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSEMI E15\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003eで扱っている。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers\u003cbr\u003e SEMI E15 — Specification for Tool Load Port\u003cbr\u003e SEMI E47.1 — Mechanical Specification for FOUPS Used to Transport and Store 300 mm Wafers\u003cbr\u003e SEMI E57 — Mechanical Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers\u003cbr\u003e SEMI E62 — Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS)\u003cbr\u003e SEMI E84 —Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I\/O Interface\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E15.1-0305 (Reapproved 1110) - Inactive","offer_id":40234318233667,"sku":"5863","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_7517514f-cb4f-4443-a1e7-6cef8a147e9e.png?v=1776702322","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/e01501-semi-e15-1-300-mm%e8%a3%85%e7%bd%ae%e3%83%ad%e3%83%bc%e3%83%89%e3%83%9d%e3%83%bc%e3%83%88%e3%81%ae%e3%81%9f%e3%82%81%e3%81%ae%e4%bb%95%e6%a7%98","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}