{"product_id":"e01000-semi-e10-半導体製造装置の信頼性-有用性-整備性ram-利用性の定義と測定のための仕様","title":"E01000 - SEMI E10 - 半導体製造装置の信頼性，有用性，整備性（RAM），利用性の定義と測定のための仕様","description":"\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e注意：\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e本文書は，\u003cfont size=\"2\"\u003e2011\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e年，全面的に書き換えられた。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e本文書では，製造環境において半導体製造装置の信頼性，有用性，整備性（\u003cfont size=\"2\"\u003eRAM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e），利用性の性能を測定する標準化された方法を提供して，装置のユーザとサプライヤ間の意見の交換に共通の基盤を確立している。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e本書では，あらゆる装置状況および時間が必ずどこかに類別される\u003cfont size=\"2\"\u003e6\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eつの互いに相容れない唯一の基本的な装置状態を定義している。計画外ダウンタイムと呼ばれる状態は，装置システムの「故障」状態と定義される。本仕様での装置信頼性の測定は，装置の稼動に対する装置の故障の関係に重点を置いている。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003eここで定義される全ての測定基準は，ノンクラスタツール，シングルパスクラスタツール（\u003cfont size=\"2\"\u003eSPCT\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e），マルチパスクラスタツール（\u003cfont size=\"2\"\u003eMPCT\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e）内の装置モジュール，装置モジュールの所期のプロセスセット\u003cfont size=\"2\"\u003e (IPSs)\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eおよびマルチパスクラスターツール（\u003cfont size=\"2\"\u003eMPCT\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e）を含む装置システムに適用可能である。本文書は，装置モジュールレベルの性能の関数として\u003cfont size=\"2\"\u003eIPS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eの性能を初めて定義することにより，\u003cfont size=\"2\"\u003eMPCT\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eのための\u003cfont size=\"2\"\u003eRAM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e測定を取り扱う方法を定義している。\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003e提示している測定基準ごとに，\u003cfont size=\"2\"\u003eIPS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eおよび\u003cfont size=\"2\"\u003eMPCT\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eに必要な特別な取り扱いをすべて定義している。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e本文書は，次の基本的な測定基準を定義する\u003cfont size=\"2\"\u003e:\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003ci style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003ci\u003e信頼性（\u003cfont size=\"2\"\u003eReliability\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e）\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e — \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e故障間の平均時間\u003cfont size=\"2\"\u003e(MTTF:\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e平均故障時間\u003cfont size=\"2\"\u003e)\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eおよび故障間の平均サイクルを含む。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003ci style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003ci\u003e有用性（\u003cfont size=\"2\"\u003eAvailability\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e）\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e — \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e合計のアップタイム，運転のアップタイム，装置依存のアップタイム，およびサプライヤ依存のアップタイムを含む。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003ci style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003ci\u003e整備性（\u003cfont size=\"2\"\u003eMaintainability\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e）\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e —\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e 修理のための平均時間\u003cfont size=\"2\"\u003e(MTTR:\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e平均修理時間\u003cfont size=\"2\"\u003e)\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e，予備保守（実施）の平均時間，オフラインの平均時間，総故障率および減失率を含む。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003ci style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003ci\u003e利用性（\u003cfont size=\"2\"\u003eUtilization\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e）\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e — \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e合計の利用性および運転の利用性を含む。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e本文書に含まれる関連資料では，\u003cfont size=\"2\"\u003eMTBF\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003eの不確実性の測定および信頼性の向上と低下の測定のコンセプトを扱っている。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cb style=\"\"\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e (purchase separately)\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003eSEMI E35 — Guide to Calculate Cost of Ownership (COO) Metrics for Semiconductor Manufacturing Equipment\u003cbr\u003e \u003c\/font\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003eSEMI E58 — Automated Reliability, Availability, and Maintainability Standard (ARAMS): Concepts, Behavior, and Services\u003cbr\u003e \u003c\/font\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003eSEMI E79 — Specification for Definition and Measurement of Equipment Productivity\u003cbr\u003e \u003c\/font\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003eSEMI E116 — Specification for Equipment Performance Tracking\u003c\/font\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI 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