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E11700 - SEMI E117 - レチクルロードポートの仕様
SEMI E117 - レチクルロードポートの仕様 Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
S02100 - SEMI S21 - 人員防護安全基準
SEMI S21 - 人員防護安全基準 Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
MS01000 - SEMI MS10 - Test Method to Measure Fluid Permeation Through MEMS Packaging Materials
SEMI MS10 - Test Method to Measure Fluid Permeation Through MEMS Packaging Materials Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
S02900 - SEMI S29 - フッ素系温室効果ガス（F-GHG）排出の特性評価と削減に関するガイド
SEMI S29 - フッ素系温室効果ガス（F-GHG）排出の特性評価と削減に関するガイド Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E13000 - SEMI E130 - 300mm環境のプローバ専用装置モデル（PSEM300）に関する仕様
SEMI E130 - 300mm環境のプローバ専用装置モデル（PSEM300）に関する仕様 Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E01400 - SEMI E14 - Measurement of Particle Contamination Contributed to the Product from the Process or Support Tool
SEMI E14 - Measurement of Particle Contamination Contributed to the Product from the Process or Support Tool Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F06500 - SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブとともに使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様
SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブとともに使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様 Regular price¥59,400 JPY Sale price¥38,100 JPY
F01000 - SEMI F10 - Test Method to Determine the Internal Pressure Required to Produce a Failure of a Tube Fitting Connection Made of Fluorocarbon Materials
SEMI F10 - Test Method to Determine the Internal Pressure Required to Produce a Failure of a Tube Fitting Connection Made of Fluorocarbon Materials Regular price¥49,500 JPY Sale price¥31,900 JPY
E08200 - SEMI E82 - 工程間／工程内AMHS SEMの仕様（IBSEM）
SEMI E82 - 工程間／工程内AMHS SEMの仕様（IBSEM） Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E03000 - SEMI E30 - 製造装置の通信およびコントロールのための包括的モデル（GEM）
SEMI E30 - 製造装置の通信およびコントロールのための包括的モデル（GEM） Sale priceMember Price: ¥270
Non-Member Price: ¥75,400
F08700 - SEMI F87 - Specification for Dimension of Three Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F87 - Specification for Dimension of Three Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F00800 - SEMI F8 - 引張り力を受けた場合のフロロカーボン製チューブ継手接合部のシール能力を評価する試験方法
SEMI F8 - 引張り力を受けた場合のフロロカーボン製チューブ継手接合部のシール能力を評価する試験方法 Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F01400 - SEMI F14 - Guide for the Design of Gas Source Equipment Enclosures
SEMI F14 - Guide for the Design of Gas Source Equipment Enclosures Regular price¥49,500 JPY Sale price¥31,900 JPY
S02200 - SEMI S22 - 半導體製造設備電氣設計安全基準
SEMI S22 - 半導體製造設備電氣設計安全基準 Sale price Member Price : ¥113
F00900 - SEMI F9 - サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン製チューブフィッティング接合部の漏洩特性を測定する試験方法
SEMI F9 - サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン製チューブフィッティング接合部の漏洩特性を測定する試験方法 Regular price¥59,400 JPY Sale price¥38,100 JPY
E13200 - SEMI E132 - 장비클라이언트 인증과 권한 부여에 대한 사양
SEMI E132 - 장비클라이언트 인증과 권한 부여에 대한 사양 Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
S00900 - SEMI S9 - Guide to Electrical Design Verification Tests for Semiconductor Manufacturing Equipment that have Been Moved to SEMI S22
SEMI S9 - Guide to Electrical Design Verification Tests for Semiconductor Manufacturing Equipment that have Been Moved to SEMI S22 Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E06700 - SEMI E67 - マスフローコントローラの信頼性測定のためのテスト方法
SEMI E67 - マスフローコントローラの信頼性測定のためのテスト方法 Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F10600 - SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法
SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法 Regular price¥59,400 JPY Sale price¥38,100 JPY
S01000 - SEMI S10 - 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 안전 가이드라인
SEMI S10 - 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 안전 가이드라인 Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E01600 - SEMI E16 - マスフローコントローラ漏洩率の決定および記述のガイド
SEMI E16 - マスフローコントローラ漏洩率の決定および記述のガイド Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E05200 - SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス，ガス混合物および気化して使用する材料の参照表
SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス，ガス混合物および気化して使用する材料の参照表 Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F08800 - SEMI F88 - 1.5インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用スタンダードサイズマスフローコントローラ／マスフローメータの寸法のための仕様
SEMI F88 - 1.5インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用スタンダードサイズマスフローコントローラ／マスフローメータの寸法のための仕様 Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E08100 - SEMI E81 - Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture
SEMI E81 - Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
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