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E15400 - SEMI E154 - 450 mmロードポートのためのメカニカルインタフェースの仕様
SEMI E154 - 450 mmロードポートのためのメカニカルインタフェースの仕様 Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F00700 - SEMI F7 - フロロカーボン製チューブフィッティング接合部の引張り強さを測定するテスト方法
SEMI F7 - フロロカーボン製チューブフィッティング接合部の引張り強さを測定するテスト方法 Regular price¥59,400 JPY Sale price¥38,100 JPY
S02800 - SEMI S28 - Safety Guideline for Robots and Load Ports Intended for Use in Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S28 - Safety Guideline for Robots and Load Ports Intended for Use in Semiconductor Manufacturing Equipment Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
S01600 - SEMI S16 - 製品寿命時の環境影響を削減するための半導体製造装置設計ガイド
SEMI S16 - 製品寿命時の環境影響を削減するための半導体製造装置設計ガイド Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E05400 - SEMI E54 - センサ／アクチュエータネットワークのスタンダード
SEMI E54 - センサ／アクチュエータネットワークのスタンダード Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
S02700 - SEMI S27 - Safety Guideline for the Contents of Environmental, Safety, and Health (ESH) Evaluation Reports
SEMI S27 - Safety Guideline for the Contents of Environmental, Safety, and Health (ESH) Evaluation Reports Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E02600 - SEMI E26 - Radial Cluster Tool Footprint Standard
SEMI E26 - Radial Cluster Tool Footprint Standard Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E11300 - SEMI E113 - 半導体処理装置の高周波（RF）電力供給システム用仕様
SEMI E113 - 半導体処理装置の高周波（RF）電力供給システム用仕様 Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F00600 - SEMI F6 - 危険ガス配管システムの二次封じ込め（ガイドライン）F00600 - SEMI F6 - 危険ガス配管システムの二次封じ込め（ガイドライン）
SEMI F6 - 危険ガス配管システムの二次封じ込め（ガイドライン） Regular price¥59,400 JPY Sale price¥38,100 JPY
E12100 - SEMI E121 - 半導体製造への応用に関するXMLスタイルと利用のガイド
SEMI E121 - 半導体製造への応用に関するXMLスタイルと利用のガイド Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E01700 - SEMI E17 - マスフローコントローラの過渡特性テストのガイド
SEMI E17 - マスフローコントローラの過渡特性テストのガイド Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
S02700 - SEMI S27 - 環境，健康，安全（ESH）評価報告書の内容に関する安全ガイドライン
SEMI S27 - 環境，健康，安全（ESH）評価報告書の内容に関する安全ガイドライン Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E07400 - SEMI E74 - 真空ポンプのインタフェースの仕様　－　ターボモレキュラーポンプ
SEMI E74 - 真空ポンプのインタフェースの仕様　－　ターボモレキュラーポンプ Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F08300 - SEMI F83 - Specification for Dimension of Two Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Two Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F83 - Specification for Dimension of Two Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Two Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
S02800 - SEMI S28 - 針對預計應用於半導體生產設備之機器人與之安全指導方針
SEMI S28 - 針對預計應用於半導體生產設備之機器人與之安全指導方針 Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E08900 - SEMI E89 - Guide for Measurement System Analysis (MSA)
SEMI E89 - Guide for Measurement System Analysis (MSA) Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E13600 - SEMI E136 - 半導体処理装置の高周波（RF）電力供給システムで使用されるRF電源の出力を決定するためのテスト方法
SEMI E136 - 半導体処理装置の高周波（RF）電力供給システムで使用されるRF電源の出力を決定するためのテスト方法 Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E14300 - SEMI E143 - 50Ωの負荷に対する出力変動の測定およびすべての位相角において電圧定在波比が2.0の負荷に対する出力変動とスペクトルを測定するための試験方法
SEMI E143 - 50Ωの負荷に対する出力変動の測定およびすべての位相角において電圧定在波比が2.0の負荷に対する出力変動とスペクトルを測定するための試験方法 Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F09000 - SEMI F90 - Specification for Dimension of Standard Size Two Port Components (Except MFC/MFM) for 1.5 Inch Type Two Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F90 - Specification for Dimension of Standard Size Two Port Components (Except MFC/MFM) for 1.5 Inch Type Two Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F05800 - SEMI F58 - 大気圧イオン化質量分析計（APIMS）による表面実装および一般的ガス供給システムの水分ドライダウン特性測定のためのテスト方法
SEMI F58 - 大気圧イオン化質量分析計（APIMS）による表面実装および一般的ガス供給システムの水分ドライダウン特性測定のためのテスト方法 Regular price¥59,400 JPY Sale price¥38,100 JPY
F01200 - SEMI F12 - フッ素樹脂製フィッティングの熱サイクル負荷後のシール性能決定の試験方法
SEMI F12 - フッ素樹脂製フィッティングの熱サイクル負荷後のシール性能決定の試験方法 Regular price¥59,400 JPY Sale price¥38,100 JPY
E00400 - SEMI E4 - 半導体製造装置通信スタンダード1　メッセージトランスファ（SECS-I）
SEMI E4 - 半導体製造装置通信スタンダード1　メッセージトランスファ（SECS-I） Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F08900 - SEMI F89 - 1.5インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズマスフローコントローラ／マスフローメータの寸法のための仕様
SEMI F89 - 1.5インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズマスフローコントローラ／マスフローメータの寸法のための仕様 Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F09100 - SEMI F91 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズ2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様
SEMI F91 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズ2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
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