SEMI 3D16 - Specification for Glass Base Material for Semiconductor Packaging

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E10300 - SEMI E103 - Mechanical Specification for a 300 mm Single-wafer Box System that Emulates a FOUP
SEMI E103 - Mechanical Specification for a 300 mm Single-wafer Box System that Emulates a FOUP Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
MS01000 - SEMI MS10 - Test Method to Measure Fluid Permeation Through MEMS Packaging Materials
SEMI MS10 - Test Method to Measure Fluid Permeation Through MEMS Packaging Materials Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F01000 - SEMI F10 - Test Method to Determine the Internal Pressure Required to Produce a Failure of a Tube Fitting Connection Made of Fluorocarbon Materials
SEMI F10 - Test Method to Determine the Internal Pressure Required to Produce a Failure of a Tube Fitting Connection Made of Fluorocarbon Materials Regular price¥49,500 JPY Sale price¥31,900 JPY
E08200 - SEMI E82 - 工程間／工程内AMHS SEMの仕様（IBSEM）
SEMI E82 - 工程間／工程内AMHS SEMの仕様（IBSEM） Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
S02900 - SEMI S29 - フッ素系温室効果ガス（F-GHG）排出の特性評価と削減に関するガイド
SEMI S29 - フッ素系温室効果ガス（F-GHG）排出の特性評価と削減に関するガイド Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F06500 - SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブとともに使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様
SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブとともに使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様 Regular price¥59,400 JPY Sale price¥38,100 JPY
E01400 - SEMI E14 - Measurement of Particle Contamination Contributed to the Product from the Process or Support Tool
SEMI E14 - Measurement of Particle Contamination Contributed to the Product from the Process or Support Tool Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F08700 - SEMI F87 - Specification for Dimension of Three Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F87 - Specification for Dimension of Three Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F00900 - SEMI F9 - サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン製チューブフィッティング接合部の漏洩特性を測定する試験方法
SEMI F9 - サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン製チューブフィッティング接合部の漏洩特性を測定する試験方法 Regular price¥59,400 JPY Sale price¥38,100 JPY
F10600 - SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法
SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法 Regular price¥59,400 JPY Sale price¥38,100 JPY
E13200 - SEMI E132 - 장비클라이언트 인증과 권한 부여에 대한 사양
SEMI E132 - 장비클라이언트 인증과 권한 부여에 대한 사양 Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
S00900 - SEMI S9 - Guide to Electrical Design Verification Tests for Semiconductor Manufacturing Equipment that have Been Moved to SEMI S22
SEMI S9 - Guide to Electrical Design Verification Tests for Semiconductor Manufacturing Equipment that have Been Moved to SEMI S22 Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E01600 - SEMI E16 - マスフローコントローラ漏洩率の決定および記述のガイド
SEMI E16 - マスフローコントローラ漏洩率の決定および記述のガイド Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
S01000 - SEMI S10 - 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 안전 가이드라인
SEMI S10 - 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 안전 가이드라인 Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E05200 - SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス，ガス混合物および気化して使用する材料の参照表
SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス，ガス混合物および気化して使用する材料の参照表 Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E08100 - SEMI E81 - Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture
SEMI E81 - Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
S00200 - SEMI S2 - 半導体製造装置の環境，健康，安全に関するガイドライン
SEMI S2 - 半導体製造装置の環境，健康，安全に関するガイドライン Sale priceMember Price: ¥270
Non-Member Price: ¥75,400
MS00200 - SEMI MS2 - Test Method for Step Height Measurements of Thin Films
SEMI MS2 - Test Method for Step Height Measurements of Thin Films Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F00400 - SEMI F4 - Specification for Pneumatically Actuated Cylinder Valves
SEMI F4 - Specification for Pneumatically Actuated Cylinder Valves Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E05600 - SEMI E56 - 熱マスフローコントローラの精度，直線性，リピータビリティ，短期再現性，ヒステリシス（履歴現象）およびデッドバンドを判断するテスト方法
SEMI E56 - 熱マスフローコントローラの精度，直線性，リピータビリティ，短期再現性，ヒステリシス（履歴現象）およびデッドバンドを判断するテスト方法 Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E13300 - SEMI E133 - 自動プロセス制御システムインタフェースの仕様
SEMI E133 - 自動プロセス制御システムインタフェースの仕様 Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E00500 - SEMI E5 - SEMI 장비 커뮤니케이션 표준2 메세지 내용
SEMI E5 - SEMI 장비 커뮤니케이션 표준2 메세지 내용 Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
E08800 - SEMI E88 - AMHS保管SEM（ストッカーSEM）の仕様
SEMI E88 - AMHS保管SEM（ストッカーSEM）の仕様 Sale priceMember Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
S01800 - SEMI S18 - 矽烷族氣體處理之安全衛生及環保基準
SEMI S18 - 矽烷族氣體處理之安全衛生及環保基準 Sale priceMember Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900