SEMI 3D14 - Guide for Incoming/Outgoing Quality control and Testing Flow for 3DS-IC Products

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F10600 - SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法
SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法 Regular price$360.00 USD Sale price$231.00 USD
E13200 - SEMI E132 - 장비클라이언트 인증과 권한 부여에 대한 사양
SEMI E132 - 장비클라이언트 인증과 권한 부여에 대한 사양 Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
E01600 - SEMI E16 - マスフローコントローラ漏洩率の決定および記述のガイド
SEMI E16 - マスフローコントローラ漏洩率の決定および記述のガイド Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00
S01000 - SEMI S10 - 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 안전 가이드라인
SEMI S10 - 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 안전 가이드라인 Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
E05200 - SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス，ガス混合物および気化して使用する材料の参照表
SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス，ガス混合物および気化して使用する材料の参照表 Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00
E08100 - SEMI E81 - Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture
SEMI E81 - Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
S00200 - SEMI S2 - 半導体製造装置の環境，健康，安全に関するガイドライン
SEMI S2 - 半導体製造装置の環境，健康，安全に関するガイドライン Sale priceMember Price: $270.00
Non-Member Price: $457.00
MS00200 - SEMI MS2 - Test Method for Step Height Measurements of Thin Films
SEMI MS2 - Test Method for Step Height Measurements of Thin Films Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
E05600 - SEMI E56 - 熱マスフローコントローラの精度，直線性，リピータビリティ，短期再現性，ヒステリシス（履歴現象）およびデッドバンドを判断するテスト方法
SEMI E56 - 熱マスフローコントローラの精度，直線性，リピータビリティ，短期再現性，ヒステリシス（履歴現象）およびデッドバンドを判断するテスト方法 Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00
E13300 - SEMI E133 - 自動プロセス制御システムインタフェースの仕様
SEMI E133 - 自動プロセス制御システムインタフェースの仕様 Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00
F00400 - SEMI F4 - Specification for Pneumatically Actuated Cylinder Valves
SEMI F4 - Specification for Pneumatically Actuated Cylinder Valves Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
E00500 - SEMI E5 - SEMI 장비 커뮤니케이션 표준2 메세지 내용
SEMI E5 - SEMI 장비 커뮤니케이션 표준2 메세지 내용 Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
E08800 - SEMI E88 - AMHS保管SEM（ストッカーSEM）の仕様
SEMI E88 - AMHS保管SEM（ストッカーSEM）の仕様 Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00
S01800 - SEMI S18 - 矽烷族氣體處理之安全衛生及環保基準
SEMI S18 - 矽烷族氣體處理之安全衛生及環保基準 Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
E12000 - SEMI E120 - 共通装置モデル（CEM）の仕様
SEMI E120 - 共通装置モデル（CEM）の仕様 Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00
F04600 - SEMI F46 - Guide for On-Site Chemical Generation (OSCG) Systems
SEMI F46 - Guide for On-Site Chemical Generation (OSCG) Systems Regular price$300.00 USD Sale price$193.00 USD
S02200 - SEMI S22 - 半導体製造装置の電気設計のための安全に関するガイドライン
SEMI S22 - 半導体製造装置の電気設計のための安全に関するガイドライン Sale priceMember Price: $270.00
Non-Member Price: $457.00
F00800 - SEMI F8 - Test Method for Evaluating the Sealing Capabilities of Tube Fitting Connections Made of Fluorocarbon Materials, When Subjected to Tensile Forces
SEMI F8 - Test Method for Evaluating the Sealing Capabilities of Tube Fitting Connections Made of Fluorocarbon Materials, When Subjected to Tensile Forces Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
F09500 - SEMI F95 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネントの寸法のための仕様
SEMI F95 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネントの寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00
E09700 - SEMI E97 - Provisional Specification for CIM Framework Global Declarations and Abstract Interfaces
SEMI E97 - Provisional Specification for CIM Framework Global Declarations and Abstract Interfaces Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
E12500 - SEMI E125 - 装置自己記述（EqSD）の仕様
SEMI E125 - 装置自己記述（EqSD）の仕様 Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00
F01100 - SEMI F11 - フッ素樹脂製チューブフィッティングの熱的特性指標を得るための試験方法
SEMI F11 - フッ素樹脂製チューブフィッティングの熱的特性指標を得るための試験方法 Regular price$360.00 USD Sale price$231.00 USD
F09200 - SEMI F92 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズ3ポートコンポーネントの寸法のための仕様
SEMI F92 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズ3ポートコンポーネントの寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00
E12600 - SEMI E126 - 装置品質情報パラメータ（EQIP）に関する仕様
SEMI E126 - 装置品質情報パラメータ（EQIP）に関する仕様 Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00